面,会影响到芯片的尺寸精度和电路的完整性,更精细结构中也难以拥有合标的对比度,这就会让显影过程中难以区分图案和背景。
以及,不同工艺还存在兼容性问题,有可能出现残留物、桥接或缺失等工艺缺陷。
这些综合问题都会导致良率的大幅度下降,即便进行大量的工艺参数调整和优化工作,也会让生产成本急剧上升到难以接受的程度。
冰芯使用了第二代ffet的16n在当下仍旧属于全球第一,也由此带来太过先进的内地行业难以匹配的问题。
这一点也很难怪内地行业,全球分工的行业局面之下,光刻胶市场被美日厂商把持,就是去欧洲也买不到可用的光刻胶。
同样的,三星面临被日本断供光刻胶等材料的局面,它也无法解决,最终是韩日多次斡旋才最终达成一致。
冰芯在2012年就推动了国内厂商联合创建“芯材”,尝试解决卡脖子的问题,尽管获得一些成效,但仍旧无法让人满意,最终只能继续在“芯材”研发的基础上亲自下场,继续奔着目标努力。
这个过程已经持续3年,未来又需要多久才能突破,谁也没法打包票。
方卓给胡教授倒茶,两人沉默着喝了一会茶。
胡教授眼瞧着这么一会喝茶的功夫,小刘秘书都进来瞧了两会,他也就进一步阐述了自己关于冰芯的想法。
“方总,我看bis和它驱使的日本厂商这次都是只把范围局限在冰芯上面,光刻胶是个尖锐的问题,它很锋利,但如果扩大范围,也可能遭到我们很多领域的反击。”胡正明说道,“所以,bis只想打击最突出的冰芯。”
方卓微微点头,是这样的,虽然bis通过修改fdp而延伸了管辖权,但它也不是所有的都去管,只是悬起了一把随时可以落下的宝剑,真正管的就是针对冰芯的设备、技术、材料的若干环节,而其中最尖锐的就是具有时效性的光刻胶。
“既然这样,既然冰芯现在真的可能减产停工,那就山不过来,我就过去。”胡正明缓缓说道,“我们把技术更多的流动起来。”
“bis有顾虑,只针对冰芯,不愿意全面进攻,那我们就趁着这个时期加快中芯的技术研发。”
“中芯不仅有光刻胶,现在还有比冰芯先进的nxt:2000i,这甚至是除了euv之外最先进的光刻机。”
“中芯这个平台可以有更大作为,我们有力量更快的催动中芯成为易科的备用厂商,我们还有机会继续保持对更先进制程的研发。”
“虽然中芯的不少设备都是美系,但我们先解决有没有,再解决其它的优化问题,良率反正是可以牺牲的。”
“既然bis那边有顾虑,它不想,它不敢这个时候更大范围的施加措施,不管是竞选因素也好,还是利益纠纷也罢,那我们得抓住这样也许也不多的时间让技术不眠。”
“方总,你先前没有推动中芯和冰芯的合并是对的,如果我们能在中芯的基础上再继续把制程往前推进一步,情况又有不同。”
胡正明说到这里,笑道:“中芯正统在冰芯,冰芯正统也可以在中芯嘛。”
方卓明白了胡教授的意思,缓缓说道:“胡教授的意思是让梁博士带人到中芯?”
胡正明颔首:“你们之前和台湾的联电都可以谈到让梁孟淞去那边当顾问,中芯又有什么不可以?担忧中芯也一并被限制?如果那样,又能比现在的局面恶化多少?”
他从沙发上起身,在办公室里踱步:“华力一期的去美化45n甚至能跑出具有竞争力的良率,冰芯渐渐拥有对设备工艺调整的经验,新阳合肥的研发必然能出结果,我们只在如今的基础上就能有duv+saqp的10n方案,这还不是它的极限,还能怎么恶化呢?”
胡正明看向方总,笑道:“方总,你说,还能比现在更恶化吗?我往后看,也就是现在这个阶段最为艰难。”
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